2023년 7월 손석균 교수님이 참여한 “디스플레이 절연막 식각용 150 이하의 저온난화지수를 지니는 F-기반 PFC 대체가스 개발”
연구 주제가 탄소중립산업핵심기술개발사업에 선정되었습니다.
Carbon Neutral Construction CoreTechnology Development Projects Research Laboratory Program
2023년 7월 손석균 교수님이 참여한 “디스플레이 절연막 식각용 150 이하의 저온난화지수를 지니는 F-기반 PFC 대체가스 개발”
연구 주제가 탄소중립산업핵심기술개발사업에 선정되었습니다.
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